主要應用于TFT-LCD、IPS、LTPS、OLED等顯示面板行業,針對制程當中發光區域內產生的亮點、灰亮點、亮線不良進行鐳射修復。整個修復過程是通過高清像素CCD自動定位,拍照取像分析,給出不良點坐標,然后計算機根據指令將修復用的鐳射鏡頭移動到位,自動識別出不良點的形狀大小,激光會做出不同方式的維修。詳見如下圖解:
超快激光亮點修復特點:可以直接針對一個pixel里的異物亮點進行單獨暗 化修復,而不影響周圍區域發光。
如下圖所示:
主要應用于TFT-LCD、IPS、LTPS、OLED等顯示面板行業,針對制程當中發光區域內產生的亮點、灰亮點、亮線不良進行鐳射修復。整個修復過程是通過高清像素CCD自動定位,拍照取像分析,給出不良點坐標,然后計算機根據指令將修復用的鐳射鏡頭移動到位,自動識別出不良點的形狀大小,激光會做出不同方式的維修。
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設備主要技術參數表
項目 |
主要參數 |
備注 |
鐳 射 系 統 |
激光類型:超短脈沖 PS LASER |
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型號:DY LASER-100W |
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波長:1040nm/515nm/343nm IR/GR/UV(波長可選配) |
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頻率:0-1MHz |
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最大能量輸出:10uj |
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輸出參量穩定性:±10% |
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光斑大小:正方型/長方/90度旋轉可調 |
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最小光斑:2.5um*2.5um(50倍物鏡狀態下) |
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光斑尺寸調節范圍:50X MAX-24um*24um Min-2.5um*2.5um 20X MAX-60um*60um MAX-3um*3um |
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顯 微 成 像 系 統 |
型號:ewin lens - 5 |
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成像透鏡:IR/GR/UV增透膜 |
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物鏡:5X(APO)、10X(APO)、20X(NIR)、20X(NUV) 50X (NIR) |
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物鏡切換:電動 |
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CCD像素:50萬dP和1200萬取像 |
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顯示器:17寸 1920*1080 |
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圖像采集卡品牌及型號 :麥恩 |
機 架 結 構 |
材料:鈑金鋼架 |
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外觀尺寸:L1600mm*W1600mm*H1800mm |
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工作臺尺寸:550mm*400mm |
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XY軸行程:600mm*500mm |
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Z軸行程:200mm |
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XYZ軸移動速度:高速≥10mm/s 低速:2mm/s 手動微調:0.25mm/260度 |
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XYZ軸移動精度:±0.02mm |
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XYZ軸微調部分:脈沖手搖輪 |
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平臺表面:墊高強度玻璃 |
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XY馬達:直線電機 |
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Z軸馬達:直線電機 |
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Z軸導軌:無油導軌 |
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運動控制卡品牌及型號:固高 |
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導軌絲桿品牌型號:臺灣上銀 V15型P級WIWIN雙導軌滾珠絲桿 |
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外觀油漆著色:乳白色 光油(無塵型) |
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懸梁架構:鋼鐵鈑金焊接合成,單板厚度:12mm |
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顯示器固定座 :可調節前后擺動 |
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減震:大理石+自動平衡 氣壓規格:0.8MPA |
軟 體 系 統 |
控制功能: 1.激光能量、頻率、波長切換、光斑大小調節及儲存 2.工作臺移動、加工狀態參數顯示 3.顯微鏡頭切換控制 4.儲存200種加工用參數 5.任意圖形暗化設定 6.電腦: 技嘉主板 硬盤540G 4G內存 intel CPU E5200 |
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電 氣 部 分 |
操作鍵盤功能: 1.5個顯微鏡頭切換按鍵 2.快慢4擋位切換 3.XYZ軸粗調、微調 4.照準光源亮度調節 5.啟動電源開關 6.啟動按鈕 7.激光能量補嘗旋鈕(帶有保護蓋) 8.急停開關
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帶有安全斷電光 |
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正門右上方異常急停開關及報警燈 |
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輸入電源:單相交流220V 50-60Hz 10A |
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